로봇신문
티로보틱스, 반도체 유리기판 이송로봇 美 특허 등록…글로벌 기술 경쟁력 강화
티로보틱스가 반도체 유리기판 이송로봇 관련 미국 특허 등록을 완료했다. 앞서 한국과 일본에서 동일 기술의 특허를 취득한 데 이어 미국까지 확보해 주요 반도체 시장 3곳에서 권리 보호 기반을 갖췄다. 해당 특허는 진공 챔버 내부에서 기판을 정밀하게 이송하는 장치 기술을 대상으로 한다. 티로보틱스는 디스플레이용 진공로봇 개발·공급을 통해 축적한 기술을 반도체 유리기판 공정에 적용했다.
큐레이터한국·일본·미국 3개 시장에서 특허망을 완성한 것은 향후 장비 공급 협상에서 IP 협상력으로 작용할 수 있으나, 양산 적용 여부나 고객사 채택 현황은 본문에 언급되지 않아 상용화 단계는 확인이 필요하다.